真空 获得

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jn江南体育 CXF-320/3001

产品特点

  • 节能：无摩擦，避免摩擦热损耗、较其它类型产品能耗降低30％
  • 高效：更长的连续工作时间、高气流量和高抽速
  • 灵活：紧凑型结构，满足更小的物理空间需求、任意角度安装，适合各种设计需求、丰富扩展功能，满足客户定制化需求

应用领域

科学研究 加速器 光伏 Low-E玻璃镀膜 ITO镀膜 光学镀膜 装饰镀膜 平板显示 真空炉 电真空 新能源 新材料 真空干燥 低温制冷 薄膜沉积 刻蚀 离子注入 光刻 电子器件
  • 技术指标
  • 尺寸
  • 产品特性
  • 配件
  • 下载
  • 进气口法兰
    DN320 ISO F（标配）
    排气口法兰
    KF40
  • 抽速速率（L/s）
    N2:2950   Ar:2750    He:2300    H2:1100
    压缩比
    N2:＞1E8    Ar:＞1E8    He:＞1E4    H2:＞1E3
  • 极限压强（Pa）
    1E-7（橡胶密封）
    最大瞬时入口流量（sccm）
    2100
  • 保护气入口法兰（选配）
    KF10
    推荐保护气体流量
    50
  • 最大允许磁场强度
    径向：3  轴向：15
    启动时间（min）
    ≤9
  • 停机时间（min）
    ≤12
    冷却方式
    水冷
  • 冷却水流量（L/min）
    3
    推荐冷却水温度（℃）
    20±5
  • 电源电压（V AC）

    220±10％，50Hz          110±10％，60Hz

    适配电源型号
    CXFD-1601
  • 建议前级泵
    ≥30
    重量（kg）（ISO F）
    76


    文件名 类型 语言 日期 文件大小

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